Na přelomu 20. a 21. století čelila výroba mikročipů zásadní výzvě: jak vytvořit ještě menší a efektivnější tranzistory, když se dosud užívané metody tisknutí čipů začaly dostávat na hranice svých možností. Řešení přišlo v podobě technologie zvané „Extrémní ultrafialová litografie“ zkráceně EUV.
Číst dále
